반응형 재료공학실험 | 투명전극재료의 합성 및 물성 평가 TIP 1. 각종 디스플레이에 투명전극으로 사용되는 ITO (Indium-Tin Oxide) 박막의 제조. 2. Plasma 및 Sputtering 제조공정 학습을 통한 공정설계 능력 배양. 투명 전극재료 투명전극재료는 평판디스플레이, 및 태양전지 등의 소자에서 투명전극으로 사용되고 있는 물질을 통칭한다. 투명전극재료라고 불릴려면 우선 가시광영역(400㎚ ~ 700㎚)에서 80%정도의 광투과도를 가지며 ~103/Ω・㎝의 높은 전기전도도를 가지는 재료여야 한다. optical bandwidth가 3.5eV 정도이기 때문에 자외선영역은 모두 투과 시키고 적외선영역의 높은 반사율, 적절한 에칭 특성을 가지고 있어야 한다. 투명전도체 박막의 3대 재료는 ITO막, SnO2 막, ZnO막이다. 이중에서도 ITO막.. Engineering/재료 공학 2022. 2. 27. 기초공학실험 | Cu film의 전기적 특성 분석 TIP 전자제품(반도체, display)에 전기배선 재료로 사용되는 Al이 있다. 하지만 최근의 경향이 고집적화, 대면적화로 진행됨에 따라서 대체 재료로 Cu이 각광을 받고 여러 방면에서 연구를 진행하고 있다. Cu bulk의 비저항은 1.67μΩ-cm로서 Al bulk(2.7μΩ-cm)에 비해 매우 낮다. 이러한 특성으로 인하여 RC delay로 인한 신호의 지연으로 응답속도의 차이를 극복하는데 이용할 수 있는 좋은 재료이다. 하지만 이러한 Cu 박막의 전기적 특성에 영향을 미치는 인자들에 대한 실험을 진행하고자 한다. 4 point probe 면저항을 측정하는 4 point probe에는 박막이 입혀진 기판 위에 일직선으로 같은 간격에 배치된 4개의 탐침을 접촉시켜서, 두 끝의 탐침을 전류단자로 하고.. Engineering/그외 공학 2021. 10. 23. 이전 1 다음 반응형