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  박막공학실험 | 이온스퍼터링과 탄소코팅 TIP 실리퍼 웨이퍼 기판 위에 진공증착법을 이용한 탄소코팅과 이온 스퍼트링법을 이용한 금코팅을 성막함에 있어 진공증착과 이온스퍼터링의 원리에 대해 알아보고, 횟수와 시간 변수에 따른 박막의 형태와 두께와의 상관관계를 알아봄에 있다. 이온스퍼터링 고에너지입자를 이온화된 아르곤 가스등의 기체를 이용하여 음극에 충돌시켰을 때 충돌에너지가 충분히 큰 경우에는 음극을 구성하고 있는 물질의 표면에서 원자를 떼어낼 수 있게 된다. 이것을 공업적으로 응용한 것이 스퍼터링이다. 그림 3에서 보이는 것과 같이 이온이 매우 높은 에너지를 가지고 음극 물질에 출돌하게 되면 충돌 주변의 원자들에게 에너지가 전달되고, 이 때 전달되는 에너지가 원자들간의 결합력보다 크다면 원자들 중 일부는 결합을 끊고 외부로 튕겨 나가게 된다... Engineering/신소재 공학 2023. 3. 9.

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  화학공학실험 | 발광박막의 제조 및 PL분석 TIP 1. 발광특성이 있는 물질을 사용한 간단한 발광박막의 제조를 통하여 박막재료 제조 공정의 이해를 돕는다. 2. 광학적인 재료분석기법 중의 하나인 PL 분광법(Photoluminescence Spectroscopy)의 기본 원리를 이해하고, 실제 박막 재료의 특성들 즉, 고체 결정의 band-gap 특성, 불순물 특성, 발광 특성 등을 조사한다. 유기발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Device) 유기물(저분자 또는, 고분자) 박막에 음극과 양극을 통하여 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 재결합(recombination)하여 여기자(exciton)를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생되는 현상으로, 1963년 Pop.. Engineering/화학 공학 | 단위조작 | 유체역학 2020. 2. 9.